HITACHI 熒光X射線膜厚計(jì) FT230介紹

更新時(shí)間：2025-10-16

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FT230的核心定位是為實(shí)現(xiàn)高良率、高效率的半導(dǎo)體生產(chǎn)提供精確、可靠、無損的薄膜厚度與成分測量。它主要服務(wù)于芯片制造中的關(guān)鍵工藝層監(jiān)控，例如：

它的核心價(jià)值在于將實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的高精度與生產(chǎn)線上所需的高吞吐量、高穩(wěn)定性完的美結(jié)合。

1. 卓的越的分析性能

高精度與高重復(fù)性：采用先進(jìn)的X射線光學(xué)系統(tǒng)和探測器，能夠以埃級(jí)（?）的精度測量超薄薄膜，并具備極的佳的測量重復(fù)性，確保數(shù)據(jù)的可靠性。
廣泛的元素分析范圍：可從氟（F）到鈾（U）進(jìn)行定性和定量分析，覆蓋了半導(dǎo)體工藝中幾乎所有重要的薄膜材料。
支持復(fù)雜膜層結(jié)構(gòu)：能夠精確分析多層膜結(jié)構(gòu)（如TiN/Ti/Si），并準(zhǔn)確測量每一層的厚度和成分。

2. 極的高的生產(chǎn)吞吐量

高速測量：優(yōu)化的X光管與檢測器技術(shù)，結(jié)合高效的測量算法，大幅縮短了單個(gè)測量點(diǎn)的測量時(shí)間。
全自動(dòng)化操作：支持與機(jī)械手（Robot）的集成，實(shí)現(xiàn)晶圓的自動(dòng)上下料、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)和自動(dòng)測量。無需人工干預(yù)，非常適合24/7不間斷生產(chǎn)的無人化工廠。
多點(diǎn)測量與Mapping功能：可預(yù)設(shè)程序，在單晶圓上自動(dòng)進(jìn)行數(shù)十至上百個(gè)點(diǎn)的測量，并快速生成膜厚分布圖，直觀展示晶圓均勻性。

3. 強(qiáng)大的自動(dòng)化與智能化

自動(dòng)校準(zhǔn)與診斷：具備自動(dòng)校準(zhǔn)功能，并能進(jìn)行自我診斷，減少維護(hù)時(shí)間和人為誤差，確保設(shè)備始終處于最佳狀態(tài)。
配方化管理：可存儲(chǔ)大量測量配方（Recipe），針對(duì)不同產(chǎn)品、不同膜層快速調(diào)用，實(shí)現(xiàn)靈活的混線生產(chǎn)。
SECS/GEM通信：標(biāo)配工廠自動(dòng)化通信協(xié)議，可與MES（制造執(zhí)行系統(tǒng)）和EAP（設(shè)備自動(dòng)化平臺(tái)）無縫連接，實(shí)時(shí)上傳測量數(shù)據(jù)，是實(shí)現(xiàn) “智能工廠"和“數(shù)字孿生" 的關(guān)鍵數(shù)據(jù)源。

4. 出色的可靠性與易用性

高穩(wěn)定性設(shè)計(jì)：采用堅(jiān)固的機(jī)械結(jié)構(gòu)和穩(wěn)定的電子系統(tǒng)，確保在嚴(yán)苛的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中長期穩(wěn)定運(yùn)行，平均無的故的障時(shí)間極長。
用戶友好界面：配備直觀的圖形化操作軟件，方便工程師進(jìn)行編程、監(jiān)控和數(shù)據(jù)分析。
低運(yùn)行成本：設(shè)計(jì)上考慮了運(yùn)行效率與耗材壽命，有助于降低總擁有成本。

正如我們之前討論的，F(xiàn)T230完的美契合了“數(shù)據(jù)基石"的角色：

HITACHI FT230 不僅僅是一臺(tái)測量儀器，它是一套為高的端半導(dǎo)體制造量身打造的高的端計(jì)量解決方案。它集高精度、高速度、高自動(dòng)化度和高可靠性于一身，旨在滿足先進(jìn)制程對(duì)薄膜質(zhì)量控制日益增長的苛刻要求。

無論是用于65nm以上的成熟制程，還是28nm、14nm乃至更先進(jìn)的節(jié)點(diǎn)，F(xiàn)T230都能在確保芯片性能、提升生產(chǎn)良率和實(shí)現(xiàn)智能制造方面，發(fā)揮著不可或或缺的關(guān)鍵作用。

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